時鐘晶振的技術發展方向

小型化、高精度和高穩定性是時鐘器件不變的主題。愛普生也力求以后產品要節能化，即功耗要小。盡管小型化和高精度是不變的主題，但傳統機械加工方法已接近極*。隨著尺寸越來越小，傳統機械方法在切割時，晶片有可能會斷裂，一是它的穩定性不會高，另外一點是想提高精度非常困難。例如，如果要使音叉型石英晶振芯片小型化，CI值就會升高從而難于取得良好的振蕩特性，這也成了小型化的瓶頸所在。

 

QMEMS是愛普生合并了QUARTZ和MEMS這兩個關鍵詞構成了一項獨有的新技術。通過利用感光印刷技術對晶體實施精細加工，QMEMS能提供高精度、高穩定、高附加值的石英晶體產品。與機械加工相比，QMEMS大幅提升精度和穩定性的同時實現了超小型。

 

基于QMEMS工藝的產品包括音叉型晶體、角速度傳感器、HFF晶振和AT切割振蕩器等。一些新產品的例子有：上*小的2016尺寸的TCXO TG-5011BA；用于GPS導航的TCXO TG5005CG (2.5×2.0×0.9mm/0.5ppm/-30—+85℃)；面向汽車導航的*小、高精度的角速度傳感器XV－8000CB(5.0×3.2×1.3mm)；*小尺寸晶體單元石英晶振(KHz)FC-12M(2.0×1.2×0.6mm)；*小尺寸的AT產品FA-20H（2.5×2.0×0.55mm）；以及可編程石英晶振SG8003CE(1~166MHz)。